裂断方法及裂断装置

摘要

本发明是有关于裂断方法及裂断装置，其能够无需使用裂断杆，而以简单的机构并借由低负载而容易地沿刻划线进行裂断。在对基板M进行搬送的输送皮带3的皮带2中间下面，配置具备有与基板搬送方向正交的凸部4a的第一凸部形成单元4而往上按压皮带2，借此使皮带2的一部分隆起而形成与基板搬送方向正交的凸条部2a，在该皮带2以已使应分断的刻划线S1与基板搬送方向正交的状态载置基板M，将该基板M从凸条部2a的上游侧平坦部2b往下游侧平坦部2c进行搬送；借由基板M骑上凸条部2a而往下游侧平坦部2c移行时的基板M的弯曲，使形成于弯曲外面侧的刻划线S1的龟裂往厚度方向浸透，借此沿该刻划线S1裂断基板M。

主权项

一种裂断方法，是对在表面形成有刻划线的基板，沿该刻划线进行裂断，其特征在于：在对该基板进行搬送的输送皮带的搬送路径的中间下面，配置具备有与基板搬送方向正交的凸部的第一凸部形成单元而往上按压皮带，借此使该皮带的一部分隆起而在该皮带形成与基板搬送方向正交的凸条部，在该皮带以已使应分断的刻划线与基板搬送方向正交的状态载置基板，将该基板从该凸条部的上游侧平坦部往下游侧平坦部进行搬送；借由该基板从该上游侧平坦部骑上该凸条部而往该下游侧平坦部移行时的基板弯曲，使形成于弯曲外面侧的该刻划线的龟裂往厚度方向浸透，借此沿该刻划线裂断该基板。