一种与三维振镜同轴的CCD视觉成像装置

摘要

本实用新型公开了一种与三维振镜同轴的CCD视觉成像装置，包括三维振镜和CCD、f-θ镜、LED光源、合束镜、滤光片和变焦成像镜头；激光透过合束镜，经三维振镜后入射到f-θ镜上，聚焦在工件的某一点上；LED光源发出的LED光照射在该点附近，被工件表面反射进入f-θ镜，经三维振镜后，被合束镜反射，透过滤光片，由变焦成像镜头聚焦在CCD上形成图像。本实用新型能够对三维振镜所覆盖扫描空间的任意位置进行图形获取，能够实时监控正在加工位置的准确性和加工效果。

主权项

一种与三维振镜同轴的CCD视觉成像装置，包括三维振镜和CCD，其特征在于，包括f‑θ镜、LED光源、合束镜、滤光片和变焦成像镜头；激光透过合束镜，经三维振镜后入射到f‑θ镜上，聚焦在工件的某一点上；LED光源发出的LED光照射在该点附近，被工件表面反射进入f‑θ镜，经三维振镜后，被合束镜反射，透过滤光片，由变焦成像镜头聚焦在CCD上形成图像。