一种具有氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的激光二极管

摘要

本发明公开了一种采用氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的激光二极管，该激光二极管的结构为：n型氧化镍薄膜，其形成在蓝宝石衬底的上表面上；氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜，其形成在所述n型氧化镍薄膜的上表面上，以及底电极，其形成在所述n型氧化镍薄膜下表面上，顶电极，其形成在所述氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的上表面上。

主权项

一种采用氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的激光二极管，该激光二极管的结构为：n型氧化镍薄膜，其形成在蓝宝石衬底的上表面上；氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜，其形成在所述n型氧化镍薄膜的上表面上，以及底电极，其形成在所述n型氧化镍薄膜下表面上，顶电极，其形成在所述氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的上表面上；其中，所述氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的厚度为300‑400nm，该氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是5‑11％，氮的摩尔百分含量是0.8‑1.7％；所述n型氧化镍薄膜的厚度为300‑600nm；其中，在常温下，氮镁共掺杂的p型ZnO晶体薄膜的压电常数d₃₃大于16pC/N，其电阻率大于2×10¹⁰Ω·cm；采用金、银、铜或ITO来构成底电极和顶电极。