具有栅极叠层的器件

摘要

本发明公开了一种具有栅极叠层的器件，该器件包括漏极、源极、以及栅极叠层。栅极叠层具有栅极介电层、直接位于栅极介电层顶部上的栅极导电层、以及直接位于栅极导电层的顶部上的第一栅极层和第二栅极层。第一栅极层的第一电阻高于第二栅极层的第二电阻。第二栅极层是导电的，与栅极导电层电连接，并且具有接触端，该接触端被配置为作为器件的栅极的接触端。还公开了该栅极叠层的制造方法。

主权项

一种具有栅极叠层的器件，包括：栅极叠层，位于第一漏极和源极之间，所述栅极叠层具有：栅极介电层；栅极导电层，直接位于所述栅极介电层的顶部上；以及第一栅极层和第二栅极层，直接位于所述栅极导电层的顶部上，其中，所述第一栅极层具有第一电阻，所述第一电阻高于所述第二栅极层的第二电阻；并且所述第二栅极层是导电的，与所述栅极导电层电连接，并且具有接触端，所述接触端被配置为作为所述器件的栅极接触端。