| 发明名称 | 研磨用组合物 | ||
| 摘要 | 本发明的研磨用组合物含有表面具有多个突起的胶体二氧化硅颗粒。研磨用组合物中的胶体二氧化硅颗粒中粒径比胶体二氧化硅颗粒的体积平均粒径大的颗粒的表面具有的突起的高度分别除以同一突起的基部的宽度而得到的值的平均为0.245以上。胶体二氧化硅颗粒中粒径比胶体二氧化硅颗粒的体积平均粒径大的颗粒的平均长径比优选为1.15以上。胶体二氧化硅颗粒中粒径比胶体二氧化硅颗粒的体积平均粒径大的颗粒的表面具有的突起的平均高度优选为3.5nm以上。 | ||
| 申请公布号 | CN103260827B | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201180059395.7 | 申请日期 | 2011.10.06 |
| 申请人 | 福吉米株式会社 | 发明人 | 芦高圭史;森永均;安井晃仁 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I;C09G1/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)N | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种研磨用组合物，其特征在于，其为含有表面具有多个突起的胶体二氧化硅颗粒的研磨用组合物；所述胶体二氧化硅颗粒中粒径比胶体二氧化硅颗粒的体积平均粒径大的颗粒的表面具有的突起的高度分别除以同一突起的基部的宽度而得到的值的平均为0.245以上，所述突起为所述胶体二氧化硅颗粒的外形的投影轮廓上连接所述基部两端的曲线长度不超过内切于胶体二氧化硅颗粒外形的投影轮廓的最大圆的圆周长度的四分之一的突起。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||