| 发明名称 | 具有图案的基板的制造方法以及氢氟酸蚀刻用树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有利用蚀刻形成的图案的基板的制造方法，其特征在于，其包括：将包含作为(A)成分的使选自聚丁二烯多元醇、氢化聚丁二烯多元醇、聚异戊二烯多元醇以及氢化聚异戊二烯多元醇的多元醇(a1)与交联剂(a2)反应而得到的树脂的组合物涂布到基板上形成抗蚀膜的工序、和对形成该抗蚀膜的基板进行蚀刻加工而图案化的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN105103050A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201480018709.2 | 申请日期 | 2014.01.28 |
| 申请人 | 日产化学工业株式会社 | 发明人 | 佐藤哲夫 |
| 分类号 | G03F7/035(2006.01)I;C08F290/06(2006.01)I;C08G18/69(2006.01)I;C08G63/40(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/032(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/035(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种具有利用蚀刻形成的图案的基板的制造方法，其特征在于，其包括：将包含作为(A)成分的树脂的组合物涂布到基板上形成抗蚀膜的工序；和、对形成有该抗蚀膜的基板进行蚀刻加工而图案化的工序，所述树脂是由选自聚丁二烯多元醇、氢化聚丁二烯多元醇、聚异戊二烯多元醇以及氢化聚异戊二烯多元醇中的多元醇(a1)与交联剂(a2)反应得到的。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||