| 发明名称 |
GAS BEARING ELETROSTATIC CHUCK |
| 摘要 |
<p>클램핑 판을 가지는 정전 클램프가 제공되며, 클램핑 판은 중앙 영역 및 고리 영역을 포함한다. 다수의 가스 공급 오리피스는 클램핑 판의 중앙 영역에 형성되며, 다수의 가스 공급 오리피스는 가압 가스 공급원과 소통되며, 가압 가스 공급원은 다수의 가스 공급 오리피스를 경유하여 클램핑 판의 중앙 영역에서 클램핑 표면과 가공물 사이에 가스 쿠션을 제공하도록 구성된다. 하나 또는 둘 이상의 가스 회수 오리피스는 클램핑 판의 하나 또는 둘 이상의 중앙 영역 및 고리 영역에 형성되며, 하나 또는 둘 이상의 가스 회수 오리피스는 진공 소스와 유체 소통되며, 가스 회수 오리피스 내에 대체로 가스 쿠션을 위한 배기 경로를 형성한다. 밀봉부는 클램핑 판의 고리 영역에 배치되고, 밀봉부는 대체로 중앙 영역으로부터 고리 영역에 대한 외부 환경으로의 가스 쿠션의 누출을 방지한다. 하나 또는 둘 이상의 전극은 제 1 클램핑력을 제공하도록 추가로 제 1 전압 전위로 전기적으로 연결된다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101571653(B1) |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
| 申请号 |
KR20107026940 |
申请日期 |
2009.04.23 |
| 申请人 |
액셀리스 테크놀러지스, 인크. |
发明人 |
리, 더블유;라폰테인, 마빈;푸로히트, 아슈윈;길레스피, 조셉;벡켈, 도노반;타오, 텡, 차오;슬로쿰, 알렉산더;나이페흐, 사미르 |
| 分类号 |
B23Q3/15;H01L21/687;H02N13/00 |
主分类号 |
B23Q3/15 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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