基底夹持装置、抛光装置及抛光方法

摘要

一种基底夹持装置防止基底滑出并使得基底被稳定地抛光。该基底夹持装置具有：顶圈体，其用于夹持基底并将基底压在抛光表面上；以及挡圈，其用于压住所述抛光表面，所述挡圈布置在所述顶圈体的外圆周部分上；所述挡圈包括：由磁性材料制成的第一构件；以及在表面上布置有磁铁的第二构件，其与所述第一构件保持抵接。

主权项

一种基底夹持装置，其包括可旋转顶圈体，其用于夹持基底并将基底压在抛光表面上；以及挡圈，其用于压住所述抛光表面，所述挡圈布置在所述顶圈体的外圆周部分上；所述挡圈包括：‑由磁性材料制成的第一构件；以及‑在表面上布置有磁铁的第二构件，其与所述第一构件保持抵接，其中所述第一构件和所述第二构件通过作用于其间的磁力彼此固定，并且所述第一构件和所述第二构件被构造成与所述顶圈体一起旋转。