III族金属氮化物单晶的培养方法以及用于该方法的反应容器

摘要

通过将III族金属氮化物单晶的原料以及助熔剂原料收容于坩埚内，再将该坩埚收容于反应容器(1)内，将反应容器(1)收容于外侧容器内，再将外侧容器收容于耐压容器内，向外侧容器内供给含氮氛围气体的同时，于坩埚内生成熔液来进行III族金属氮化物单晶的培养。反应容器(1)具备收容坩埚的本体(3)和放置于本体(3)上的盖(2)。本体(3)具备侧壁(3b)和底壁(3a)，该侧壁(3b)具有啮合面(3d)和开口于啮合面(3d)上的槽(3c)。盖(2)具备相对本体(3)的啮合面有接触面(2d)的上板部(2a)，以及从上板部(2a)延伸出来，包围侧壁(3b)的外侧的凸缘部(2b)。

主权项

一种培养III族金属氮化物单晶的方法，包括将III族金属氮化物单晶的原料以及助熔剂原料收容于坩埚内，再将该坩埚收容于反应容器内，将该反应容器收容于外侧容器内，再将该外侧容器收容于耐压容器内，向所述外侧容器内供给含氮氛围气体的同时，使所述坩埚内生成熔液，其特征在于，所述反应容器具备收容所述坩埚的本体和放置于该本体上的盖，所述本体具备侧壁和底壁，该侧壁具有啮合面，且具有在啮合面上有开口的槽，所述盖具备相对所述啮合面有接触面的上板部，以及从上板部延伸出来，包围所述侧壁的外侧的凸缘部；所述侧壁和所述凸缘部间具有间隙；在所述啮合面上开口的所述槽与所述间隙相通；所述含氮氛围气体通过所述槽及所述间隙被供入所述坩埚；所述侧壁与凸缘部的间隙为0.5～2.0mm。