| 发明名称 | 流体控制装置、流体控制装置的调节方法 | ||
| 摘要 | 提供一种能将可挠板的固有频率调节为最佳值的流体控制装置及该流体控制装置的调节方法。在按压工序中，将压电泵(101)以使盖板(195)朝上的方式载置在工作台(502)上，使工作台(502)上升，并使用按压销(503)对盖板(195)的与振动板(141)相反一侧的主面的部进行按压。其结果是，盖板(195)及基板(191)成为以使振动板(141)侧呈凸状的方式翘曲的形状，将与可挠板(151)接合的接合部分拉伸，来使可挠板(151)以使振动板(141)侧呈凸状的方式翘曲。藉此，在可挠板(151)的可动部(154)上产生残留拉伸应力。因此，因该残留拉伸应力而使可挠板(151)的可动部(154)的拉伸应力提高，并能将可动部(154)的固有频率调节为能在允许范围内的耗电量下获得规定值以上的所希望的泵压力的最佳值。 | ||
| 申请公布号 | CN103339380B | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201280007034.2 | 申请日期 | 2012.10.10 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 平田笃彦;大森健太 |
| 分类号 | F04B45/04(2006.01)I;F04B43/02(2006.01)I;F04B43/04(2006.01)I;F04B45/047(2006.01)I | 主分类号 | F04B45/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 胡晓萍 |
| 主权项 | 一种流体控制装置，其特征在于，包括：振动板单元，该振动板单元具有振动板和包围所述振动板的周围的框板；驱动体，该驱动体设置于所述振动板的一方的主面，并使所述振动板振动；可挠板，该可挠板设有孔，并以与所述振动板的另一方的主面相对的方式与所述框板接合；以及盖构件，该盖构件与所述可挠板的和所述振动板相反一侧的主面接合，所述可挠板因所述盖构件被按压而施加有拉伸应力。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||