一种基于位移放大原理测量连杆微变形的装置

摘要

本发明公开了一种基于位移放大原理测量连杆微变形的装置，将关节臂变形引起的关节臂两个端面形成的二维偏转角度和位移转换成参考光束在光敏面内坐标的测量。由于测量光路具有位移和角度放大作用，测量灵敏度和分辨率得以提高，有利于保证较高的测量精度。本发明装置体积小、重量轻、易于集成，可安装在机器上实现在线测量，本发明装置测量结果可在角度和位移两方面对平行双关节坐标测量机测量结果进行补偿，有利于进一步提高平行双关节坐标测量机测量精度。

主权项

一种基于位移放大原理测量连杆微变形的装置，其特征在于：包括安装在平行双关节坐标测量机关节臂一端顶部的光电检测单元，以及安装在平行双关节坐标测量机关节臂另一端顶部的反光面，所述光电检测单元包括封装外壳，封装外壳朝向并正对反光面的一侧设置为壳口，壳口中设置有半透镜面、反射镜面、滤光片构成的组合透镜，其中半透镜面倾斜设置在壳口一侧口壁上，反射镜面倾斜设置在壳口另一侧口壁上与参考光束成45°夹角，且半透镜面、反射镜面相互平行，滤光片设置在壳口外侧紧贴透镜外表面与参考光束垂直，同时封堵壳口，封装外壳内还设置有激光头、光敏面，所述激光头的出光口正对半透镜面，光敏面正对反射镜面。