发明名称 |
覆盖工具及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种覆盖工具,其是在基材的表面上覆盖有类金刚石覆膜的覆盖工具,前述类金刚石覆膜的纳米压痕硬度为50GPa以上且100GPa以下,前述类金刚石覆膜的氢原子和氮原子的含量从基材侧向厚度方向减少,前述类金刚石覆膜的表面的氢原子的含量为0.5原子%以下、氮原子的含量为2原子%以下。 |
申请公布号 |
CN105102665A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201480018973.6 |
申请日期 |
2014.03.27 |
申请人 |
日立金属株式会社 |
发明人 |
沙勒·阿布苏里克;井上谦一 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01)I;B21D37/01(2006.01)I;B21D37/20(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种覆盖工具,其是在基材的表面上覆盖有类金刚石覆膜的覆盖工具,所述类金刚石覆膜的纳米压痕硬度为50GPa以上且100GPa以下,所述类金刚石覆膜的氢原子和氮原子的含量从所述基材侧向厚度方向减少,所述类金刚石覆膜的表面的氢原子的含量为0.5原子%以下、氮原子的含量为2原子%以下。 |
地址 |
日本东京都 |