发明名称 | 半导体装置、其制造方法和可变电阻存储器件 | ||
摘要 | 一种半导体装置包括:半导体衬底;以及多个柱体,形成在所述半导体衬底中。所述多个柱体中的每个包括:第一柱体;以及第二柱体,形成在所述第一柱体上,其中,所述第二柱体具有小于所述第一柱体的线宽。 | ||
申请公布号 | CN105097933A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
申请号 | CN201510087357.2 | 申请日期 | 2015.02.25 |
申请人 | 爱思开海力士有限公司 | 发明人 | 徐准敎;崔康植 |
分类号 | H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人 | 俞波;周晓雨 |
主权项 | 一种半导体装置,包括:半导体衬底;以及多个柱体,形成在所述半导体衬底中,其中,所述多个柱体中的每个包括:第一柱体;以及第二柱体,形成在所述第一柱体上,其中,所述第二柱体具有小于所述第一柱体的线宽。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |