发明名称 半导体装置、其制造方法和可变电阻存储器件
摘要 一种半导体装置包括:半导体衬底;以及多个柱体,形成在所述半导体衬底中。所述多个柱体中的每个包括:第一柱体;以及第二柱体,形成在所述第一柱体上,其中,所述第二柱体具有小于所述第一柱体的线宽。
申请公布号 CN105097933A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201510087357.2 申请日期 2015.02.25
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 徐准敎;崔康植
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 俞波;周晓雨
主权项 一种半导体装置,包括:半导体衬底;以及多个柱体,形成在所述半导体衬底中,其中,所述多个柱体中的每个包括:第一柱体;以及第二柱体,形成在所述第一柱体上,其中,所述第二柱体具有小于所述第一柱体的线宽。
地址 韩国京畿道