位置测量装置

摘要

本发明涉及一种用于检测在至少一个测量方向彼此运动设置的两个物体的位置的位置测量装置。这个位置测量装置包括光源和分裂装置。通过这些分裂装置将由光源提供的光线分裂为两个或者多个部分光束。部分光束通过至少两个部分光程。来自部分光程的干涉的部分光束击中所述的多个光电子探测元件，这样，通过这些探测元件就可检测与位移有关的位置信号。将光源设计成具有纤维光栅-反馈装置的半导体激光器。

主权项

用于检测在至少一个测量方向上可彼此运动设置的两个物体的位置的位置测量装置具有‑ 光源，‑ 分裂装置，通过该分裂装置将由光源提供的光线分裂为两个或者多个部分光束，‑ 至少两个部分光程，部分光束通过这些部分光程，以及‑ 多个光电子探测元件，来自部分光程的干涉的部分光束击中所述的光电子探测元件，从而通过探测元件就可检测与位移有关的位置信号，其特征在于，将光源（21；201）构成为具有纤维光栅‑反馈装置的半导体激光器从而以脉冲式运行所述光源；半导体激光器和纤维光栅‑反馈装置至少部分地和温度调节装置耦合，通过所述温度调节装置半导体激光器和纤维光栅‑反馈装置可在这样的温度中运行，即在这种温度中与位移有关的位置信号的相位偶变最小化。