用于沉积反应器的方法和装置

摘要

本发明涉及一种方法和装置，其中沿着至少一条馈入线(141，142)将前体蒸气引导进入沉积反应器的反应室(110)，并且通过在反应室内建立前体蒸气的垂直流并且使得该垂直流以垂直方向进入垂直放置的衬底(170)之间，从而在反应室中的垂直放置的批量的衬底的表面上沉积材料。

主权项

一种用于沉积反应器的方法，包括：将承载批量的竖直放置的衬底的可移动和单独的衬底支架从原子层沉积反应的反应室的顶侧加载进所述反应室中；沿着通过在所述反应室顶部的反应室盖的至少一条馈入线，将前体蒸气从反应室的顶部引导进入所述沉积反应器的所述反应室；以及通过在反应室内建立前体蒸气的垂直流，并且使得所述垂直流以垂直方向进入垂直放置的衬底之间，使得所述前体蒸气基本上以沿着衬底表面的每一个的同一平行的垂直方向，从反应空间的较高侧到底侧流动，从而在所述反应室中的垂直放置的批量的衬底的表面上沉积材料；其中所述反应室盖是可移动的反应室盖。