光学异向性参数测量装置、测量方法及测量用系统

摘要

本发明的目的在于通过将入射光垂直照射于试样而谋求装置整体的小型化，同时可在极短时间内测量光学轴的方向以及异向性的大小。本发明的光学异向性参数测量装置，形成有从激光器(6)将入射光朝垂直方向照射至试样(3)且将朝垂直方向反射的反射光经由半透半反镜(7)引导至受光元件(9)的测量光学系统(4)，在激光器(6)与半透半反镜(7)之间配置偏振器(P)，并且在半透半反镜(7)与受光元件(9)之间配置检光器(A)，在半透半反镜(7)与试样(3)之间配置：1/2波长板(12)，使通过偏振器(P)所产生的直线偏振光旋转；以及1/4波长板(13)，使迟相轴的方向从相对于1/2波长板(12)的迟相轴偏移了±δ(δ≠nπ/4，n是整数)的初始位置，以旋转角度相对于1/2波长板(12)成为2倍的方式同步地被旋转驱动。

主权项

一种光学异向性参数测量装置基于照射至试样的测量区域的入射光及其反射光的偏振状态的变化来测量该试样的光学轴的方向与光学异向性的大小，该光学异向性参数测量装置的特征在于包括：测量光学系统，从成为光源的激光器经由半透半反镜将入射光朝垂直方向照射于上述测量区域，并且将从该测量区域朝垂直方向反射的反射光经由上述半透半反镜引导至受光元件；以及运算处理装置，基于通过受光元件所检测出的反射光强度来算出光学异向性参数，上述测量光学系统在上述激光器与上述半透半反镜之间配置偏振器，并且在半透半反镜与受光元件之间配置检光器，在半透半反镜与试样之间配置有：1/2波长板，为了使通过上述偏振器所产生的直线偏振光旋转而被旋转驱动；以及1/4波长板，从使迟相轴的方向相对于上述1/2波长板的迟相轴偏移±δ的初始位置起，以旋转角度相对于该1/2波长板成为2倍的方式同步地被旋转驱动，其中，δ≠nπ/4，n是整数，上述运算处理装置算出使1/4波长板从初始位置+δ起与1/2波长板同步地旋转时所检测出的反射光强度R(+δ)、与使1/4波长板从初始位置‑δ起与1/2波长板同步地旋转时所检测出的反射光强度R(‑δ)的差分ΔR，基于上述直线偏振光的旋转角与上述差分ΔR的关系来决定试样的光学轴的方向以及光学异向性的大小。