| 摘要 |
MEMS 디바이스는 제 1 프루프 매스, 제 1 프루프 매스의 표면 상에 부분적으로 증착된 제 1 자화된 자기 물질, 제 1 프루프 매스를 지지하기 위해 기판에 고정된 제 1 스프링, 및 제 1 프루프 매스에 결합되고 주변 가속도에 의해 야기된 제 1 프루프 매스의 움직임을 감지하도록 동작가능한 제 1 감지 요소를 포함한다. MEMS 디바이스는 제 1 프루프 매스에 결합되고 주변 자기장에 의해 야기된 제 1 프루프 매스의 움직임을 감지하도록 동작가능한 제 2 감지 요소를 더 포함한다. |
