微机械可调法布里-珀罗干涉仪及其制造方法

摘要

本发明涉及通过微光电机械（MOEMS）技术制造的电可调法布里-珀罗干涉仪。现有技术的微机械干涉仪需要较高的控制电压，这些干涉仪的制造包括复杂的制造阶段，并且可移动镜的形式限于圆形几何形状。在发明的解决方案中，在可移动镜中存在间隙（114），由此与该间隙（114）相对的镜层（112、116）通过锚定（115）连接。锚定（115）使得在光学区域处所述镜的刚度高于周围区域处。以这种方式，即使控制电极延伸至光学区域仍可保持所述镜的光学区域平坦。由于电极较大，所以需要较低的控制电压。

主权项

一种电可调法布里‑珀罗干涉仪，包括：‑基板，‑在所述基板上的第一镜，‑第二可移动镜，‑所述第二镜具有可移动光学区域以及围绕所述光学区域的可移动区域，‑在所述第一镜与所述第二镜之间的法布里‑珀罗腔，‑所述第一镜和所述第二镜具有用于电控这些镜之间距离的电极，‑至少所述第二镜的周围区域具有在所述镜的两个层之间的间隙，并且在所述间隙的相对侧的镜层通过穿过所述间隙的锚定连接，其特征在于，‑所述第一镜和所述第二镜的电极延伸至所述光学区域，以及‑实施所述锚定使得所述周围区域的刚度低于所述光学区域的刚度，由此可移动镜布置成在通过控制电压来激活所述电极时在所述周围区域处比在所述光学区域处弯曲更多。