一种飞行时间质量分析器

摘要

本发明公开了一种飞行时间质量分析器，包括：工作状态下处于真空无场状态的中空腔体；分别与中空腔体连接的第一离子反射器和第二离子反射器；安装在第一离子反射器与中空腔体的连接处的第一聚焦偏转透镜组和第二聚焦偏转透镜组；安装在第二离子反射器和中空腔体的连接处的第三聚焦偏转透镜组和第四聚焦偏转透镜组。本发明实施例中，采用两个离子反射器，使得离子束经一个离子反射器反射后，再经另一个离子反射器进行反射，有效拓展了离子束在飞行时间质量分析器中的飞行时间，提高了质量分析器的质量分辨能力。另外，为避免离子束因飞行时间增加导致发散，设置有四组聚焦偏转透镜组，保证了离子束在飞行过程中的空间和能量的聚焦。

主权项

一种飞行时间质量分析器，其特征在于，包括：中空腔体(1)，工作状态下，所述中空腔体(1)的中空区域处于真空无场状态；真空维持装置(2)，安装在所述中空腔体(1)的外壁，用于维持所述中空腔体(1)的中空区域处于真空状态；第一离子反射器(3)和第二离子反射器(4)，分别与所述中空腔体(1)连接；所述第一离子反射器(3)的靠近与所述中空腔体(1)连接处的端面上设置有供离子束进入第一离子反射器(3)的第一通孔和供离子束离开所述第一离子反射器(3)的第二通孔；所述第二离子反射器(4)的靠近与所述中空腔体(1)连接处的端面上设置有供离子束进入第二离子反射器(4)的第三通孔和供离子束离开所述第二离子反射器(4)的第四通孔；第一聚焦偏转透镜组(5)，安装在所述第一离子反射器(2)与所述中空腔体(1)的连接处，用于对通过所述第一通孔的离子束进行聚焦和偏转；第二聚焦偏转透镜组(6)，安装在所述第一离子反射器(2)与所述中空腔体(1)的连接处，用于对通过所述第二通孔的离子束进行聚焦和偏转；第三聚焦偏转透镜组(7)，安装在所述第二离子反射器(3)和所述中空腔体(1)的连接处，用于对通过所述第三通孔的离子束进行聚焦和偏转；第四聚焦偏转透镜组(8)，安装在所述第二离子反射器(3)和所述中空腔体(1)的连接处，用于对通过所述第四通孔的离子束进行聚焦和偏转。