一种静电吸盘吸力分布的调控装置及方法

摘要

本发明公开了一种静电吸盘吸力分布的调控装置及方法，包括晶圆弯曲度预测模块、静电吸力分布模块以及静电吸盘作业模块；其中，晶圆弯曲度预测模块用于测定晶圆的弯曲度,并将测定的弯曲度值反馈至静电吸力分布模块；静电吸力分布模块用于对晶圆的弯曲度值进行分析，并向静电吸盘作业模块发送吸力分布信息指令；静电吸盘作业模块用于调节静电吸盘对晶圆的吸力分布。本发明解决了现有工艺过程中由于静电吸盘静电吸力不均匀导致晶圆产生形变的问题，可以合理控制在工艺过程中静电吸盘的静电吸力，保证在工艺过程中可以保持晶圆刚好被静电吸盘所吸附同时不产生形变，提高了晶圆产品质量，延长了静电吸盘寿命。

主权项

一种静电吸盘吸力分布的调控装置，其特征在于，所述静电吸盘包括：晶圆弯曲度预测模块,用于测定晶圆的弯曲度,并将测定的弯曲度值反馈至静电吸力分布模块；静电吸力分布模块，用于接收所述晶圆弯曲度预测模块测定的弯曲度值，对晶圆的弯曲度值进行分析，并向静电吸盘作业模块发送吸力分布信息指令；静电吸盘作业模块，用于接收所述静电吸力分布模块发出的吸力分布信息指令，并调节静电吸盘对晶圆的吸力分布。