一种阻抗匹配装置及半导体加工设备

摘要

本发明提供了一种阻抗匹配装置及半导体加工设备，该阻抗匹配装置，用于实现射频电源的特征阻抗和负载阻抗相匹配，包括匹配网络，匹配网络中包括阻抗可调元件，阻抗可调元件包括相互并联的电容选择单元和可变电容，电容选择单元包括相互串联的通断开关和固定电容，通断开关用于导通或关断与之串联的固定电容所在电路，通过控制阻抗可调元件的通断开关的导通或断开以及通过调节可变电容的容值，来实现调节该阻抗可调元件的总容值，以改变射频电源的负载阻抗。本发明提供的阻抗匹配装置，其可以提高阻抗匹配效率，因而可以在工艺切换等情况下可以快速实现匹配，从而可以提高工艺的稳定性和工艺效果。

主权项

一种阻抗匹配装置，用于实现射频电源的特征阻抗和负载阻抗相匹配，包括匹配网络，所述匹配网络中包括阻抗可调元件，其特征在于，所述阻抗可调元件包括相互并联的电容选择单元和可变电容，其中，所述电容选择单元包括相互串联的通断开关和固定电容，所述通断开关用于导通或关断与之串联的所述固定电容所在电路，通过控制所述阻抗可调元件的所述通断开关的导通或断开以及通过调节所述可变电容的容值，来实现调节该阻抗可调元件的总容值，以改变所述射频电源的负载阻抗。