一种教学用扫描电子显微镜

摘要

本发明公开一种教学用扫描电子显微镜，包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有调节手柄，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，所述真空装置与壳体无缝连接，该教学用扫描电子显微镜操作方便，显示效果好，方便维护，非常适合教学使用。

主权项

一种教学用扫描电子显微镜，其特征在于：包括壳体、电子枪、散光像差补偿器和样品台，所述电子枪设在壳体顶部，所述电子枪下方依次设置有阳极和会聚光圈，所述会聚光圈内依次设置有聚光镜头一和聚光镜头二，所述散光像差补偿器设在聚光镜头二下方，所述散光像差补偿器一侧设置有一侧设置有调节手柄，所述散光像差补偿器下方设置有偏转线圈，所述样品台上设置有聚光镜头三，所述聚光镜头三呈倾角设置，所述壳体底部设置有真空装置，所述真空装置与壳体无缝连接。