发明名称 |
一种基于多曝光程序的多硅片循环运动方法 |
摘要 |
本发明公开了一种基于多曝光程序的多硅片循环运动方法,包括以下步骤:首先将硅片盒内的单枚硅片传送至硅片载片台;接着对传送至硅片载片台上的硅片进行预设轮数的循环曝光;然后将循环曝光后的硅片传回至硅片盒;最后对硅片盒内的下一枚硅片进行预设轮数的循环曝光,直至硅片盒内的硅片全部完成循环曝光。本发明通过改变硅片的循环曝光顺序,减少了硅片传送占用机台的时间,同时具有更好的带走超纯水中微粒的效果,使超纯水中的微粒聚集在单枚硅片上至饱和状态,使超纯水中的微粒越来越少;同时,通过减少硅片的曝光面积,可以减少各曝光影像所产生的平坦度结果文件的大小,解决了由于平坦度结果文件过大而导致机台宕机的问题。 |
申请公布号 |
CN105093849A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201510488878.9 |
申请日期 |
2015.08.11 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
李文亮;吴鹏;陈力钧;朱骏;莫少文 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 |
代理人 |
吴世华;陈慧弘 |
主权项 |
一种基于多曝光程序的多硅片循环运动方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S01、将硅片盒内的单枚硅片传送至硅片载片台;步骤S02、对传送至硅片载片台上的硅片进行预设轮数的循环曝光,其中,循环曝光的轮数至少为2轮,且循环曝光的轮数与曝光程序中的曝光影像的数量相等;步骤S03、将循环曝光后的硅片传回至硅片盒;步骤S04、将硅片盒内的下一枚硅片传送至硅片载片台,并对其进行预设轮数的循环曝光,然后将循环曝光后的硅片传回至硅片盒,如此重复,直至硅片盒内的硅片全部完成循环曝光。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |