| 发明名称 | 电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置，其中该磁性模块具有多层导磁环体以及多个磁柱，每一个导磁环体具有一内环壁与一外环壁，每一个导磁环体内开设有多个径向孔。该多个磁柱，其分别嵌入于该多层导磁环体所具有的径向孔内，其中，相邻的两导磁环体所具有的磁柱的磁场方向相反。利用该磁性模块的电子回旋共振装置能在高真空下运作以利于基材上形成单原子层的镀膜。 | ||
| 申请公布号 | CN105101604A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201510530438.5 | 申请日期 | 2010.07.16 |
| 申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 张志振;黄昆平;李侃峰 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H05H1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 李颖 |
| 主权项 | 一种电子回旋共振磁性模块，包括:多层导磁环体，每一个导磁环体具有内环壁与外环壁，每一个导磁环体内开设有多个径向孔；以及多个磁柱，其分别嵌入于该多层导磁环体所具有的径向孔内，其中，相邻的两导磁环体内的磁柱，所具有的磁场方向相反；每一个径向孔贯通该内环壁与该外环壁；在同一导磁环体内的全部磁柱，所具有的磁场方向均相同。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹县 | ||