| 摘要 |
<p>본 발명의 잉곳성장장치는 잉곳성장공정에 필요한 공간을 제공하는 챔버; 상기 챔버 내에 배치된 내열성 용기로 실리콘 융액을 담는 석영도가니; 상기 석영도가니를 가열하는 히터; 상기 실리콘 융액으로부터 잉곳을 인상하는 시드를 고정하는 시드 척; 상기 시드 척을 상기 실리콘 융액에 침지하고 회전과 동시에 상승시키는 시드 인상부; 상기 실리콘 융액의 상측 단열수단으로 멜트갭을 형성하는 열차폐체; 상기 인상되는 잉곳의 직경을 측정하는 직경 센서; 상기 멜트갭을 측정하는 멜트갭 센서; 상기 실리콘 융액의 온도를 측정하는 온도 센서; 및 상기 온도 센서와 멜트갭 센서로부터 측정된 실제 온도와 멜트갭을 전송받고, 기 설계된 목표 온도 프로파일과 상기 실제 온도와 멜트갭에 따라서 상기 히터를 제어하는 온도 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명에 의하여 잉곳성장장치내의 실제온도를 정밀하게 제어할 수 있으며, 이를 통해 잉곳의 직경을 균일하게 유지하고 결정품질을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.</p> |
