| 发明名称 | 精密掩膜板 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种精密掩膜板，分为图案区和应力缓冲区，所述应力缓冲区的两面都设有半刻蚀的缓冲图案。上述精密掩膜板，通过在应力缓冲区的两面都形成缓冲图案，可以使精密掩膜板的应力中性层两侧受力平衡，减少翘曲和起伏，可提高张网效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204803392U | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201520549771.6 | 申请日期 | 2015.07.27 |
| 申请人 | 昆山国显光电有限公司 | 发明人 | 范波涛;王水俊 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 唐清凯 |
| 主权项 | 一种精密掩膜板，分为图案区和应力缓冲区，其特征在于，所述应力缓冲区的两面都设有半刻蚀的缓冲图案。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢 | ||