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发明名称 製膜装置
摘要
申请公布号 JP5823903(B2) 申请公布日期 2015.11.25
申请号 JP20120075093 申请日期 2012.03.28
申请人 发明人
分类号 C23C14/56;C23C14/04 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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