一种光刻版

摘要

本发明提供一种光刻版，属于半导体光刻技术领域。该光刻版包括管芯区域块以及所述管芯区域块之间的划片槽，其中，管芯区域块包括多个第一管芯区域块以及一个或多个第二管芯区域块，所述第二管芯区域块用来设置所述光刻版的对位标记。该光刻版对光刻设备的性能要求低、可以低成本地实现管芯区域块数目的有效增加。

主权项

一种光刻版，包括管芯区域块以及所述管芯区域块之间的划片槽，其特征在于，所述管芯区域块包括多个第一管芯区域块以及一个或多个第二管芯区域块，所述第二管芯区域块被牺牲用来设置所述光刻版的原本设置在所述划片槽中的对位标记以使所述划片槽中不设置所述对位标记，并且，所述划片槽的宽度尺寸被缩小以增加所述第一管芯区域块所占用的面积比，从而增加所述第一管芯区域块的数目。