高频电力供给装置以及反射波电力控制方法

摘要

在对等离子体负载供给高频电力的高频电力供给中，检测高频电源的反射波电力，并使用检测出的反射波电力对高频电源进行控制，对于反射波电力的短时间变动，基于反射波电力的检测值的峰值变动来进行控制，对于反射波电力的长时间变动，基于使反射波电力的检测值平滑而得到的平滑值的变动来进行控制。作为反射波电力控制环系统，具有基于反射波电力的峰值变动进行控制的反射波电力峰值下垂环系统以及电弧切断系统，和基于反射波电力的电力平滑量进行控制的反射波电能垂下环系统。高频电源在到等离子体点火为止的未点火状态下，进行全反射波应对化，所述全反射波应对化能禁受行波电力全部作为反射波电力返回电源侧的全反射波电力。

主权项

一种高频电力供给装置，其向等离子体负载供给高频电力，其特征在于，具有：高频电源部，通过开关动作将直流电源的直流变换为高频交流，输出高频电力，反馈系统，反馈所述高频电源部的高频输出的检测值，来进行反馈控制；所述反馈系统具有：行波电力控制环系统，反馈从所述高频电源部向等离子体负载的行波电力的检测值，来控制行波电力，多个反射波电力控制环系统，反馈从所述等离子体负载向所述高频电源部的反射波电力的检测值，来控制反射波电力，所述反射波电力控制环系统具有：控制反射波电力的峰值变动的反射波电力峰值下垂环系统以及电弧切断系统；以及控制反射波电力的电力平滑量的反射波电能下垂环系统，所述反射波电力峰值下垂环系统根据反射波电力的峰值对所述高频电源部的直流电源的直流电压进行控制，通过该直流电源的电压控制对反射波电力的峰值进行下垂控制，所述电弧切断系统根据反射波电力的峰值对所述高频电源部的RF放大部的输出的有无进行控制，由此来控制向等离子体负载的电力供给的有无，从而控制等离子体负载中的电弧的切断，所述反射波电能下垂环系统根据反射波电力的电力平滑量，对所述高频电源部的RF放大部的ON区间和OFF区间的占空比即时间比例进行控制，由此控制向等离子体负载的电力供给量，来对反射波电力的电能进行下垂控制。