发明名称 一种异质结近红外光敏传感器及其制备方法
摘要 本发明属于光电子领域,涉及一种异质结近红外光敏传感器及其制备方法。是由热蒸发气相沉积法制备的碲锌氧复合物与p-Si形成的异质结光敏传感器,包括p型硅衬底,碲锌氧复合物,顶电极和底电极。其关键在于碲锌氧复合物的制备。这种新型的传感器表现出了波段可调的稳定优良的光敏探测性能,可探测波长从紫外-可见-近红外波段调节至限定在1040nm的近红外波段。
申请公布号 CN105097983A 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201510437074.6 申请日期 2015.07.23
申请人 武汉大学 发明人 方国家;宋增才;李博睿
分类号 H01L31/109(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/109(2006.01)I
代理机构 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人 汪俊锋
主权项 一种异质结近红外光敏传感器,其特征在于,是由热蒸发气相沉积法制备的碲锌氧复合物与p‑Si形成的异质结光敏传感器,包括p型硅衬底,碲锌氧复合物,顶电极和底电极。
地址 430072 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学