发明名称 |
一种异质结近红外光敏传感器及其制备方法 |
摘要 |
本发明属于光电子领域,涉及一种异质结近红外光敏传感器及其制备方法。是由热蒸发气相沉积法制备的碲锌氧复合物与p-Si形成的异质结光敏传感器,包括p型硅衬底,碲锌氧复合物,顶电极和底电极。其关键在于碲锌氧复合物的制备。这种新型的传感器表现出了波段可调的稳定优良的光敏探测性能,可探测波长从紫外-可见-近红外波段调节至限定在1040nm的近红外波段。 |
申请公布号 |
CN105097983A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201510437074.6 |
申请日期 |
2015.07.23 |
申请人 |
武汉大学 |
发明人 |
方国家;宋增才;李博睿 |
分类号 |
H01L31/109(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/109(2006.01)I |
代理机构 |
武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 |
代理人 |
汪俊锋 |
主权项 |
一种异质结近红外光敏传感器,其特征在于,是由热蒸发气相沉积法制备的碲锌氧复合物与p‑Si形成的异质结光敏传感器,包括p型硅衬底,碲锌氧复合物,顶电极和底电极。 |
地址 |
430072 湖北省武汉市武昌区珞珈山武汉大学 |