| 发明名称 |
基板处理系统及其处理方法 |
| 摘要 |
本发明涉及平板显示技术领域，尤其涉及一种基板处理系统。其至少包括相邻设置的一输送单元和一插片单元，所述插片单元包括一具有收容空间的本体和一插片机构，所述插片机构位于所述本体与输送单元之间，所述本体具有面向所述输送单元的第一侧，所述输送单元用于装载所述基板并将所述基板输送至所述本体的第一侧，所述插片机构用于从所述输送单元上抓取所述基板，并将所述基板放置于所述本体的收容空间内。此外，本发明还涉及一种基板处理方法。 |
| 申请公布号 |
CN105097605A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
| 申请号 |
CN201410195591.2 |
申请日期 |
2014.05.09 |
| 申请人 |
深圳莱宝高科技股份有限公司;重庆莱宝科技有限公司 |
发明人 |
王士敏;陈雄达;吕成凤;李新华;李绍宗 |
| 分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种基板处理系统，其至少包括相邻设置的一输送单元和一插片单元，所述插片单元包括一具有收容空间的本体和一插片机构，所述插片机构位于所述本体与输送单元之间，所述本体具有面向所述输送单元的第一侧，所述输送单元用于装载所述基板并将所述基板输送至所述本体的第一侧，所述插片机构用于从所述输送单元上抓取所述基板，并将所述基板放置于所述本体的收容空间内。 |
| 地址 |
518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区朗山二路9号 |
