波纹膜片式法布里－珀罗型光纤压力传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种波纹膜片式法布里－珀罗型光纤压力传感器及其制作方法。光纤压力传感器包括波纹膜片、玻璃圆环、光纤法兰盘和光纤插头，其中，玻璃圆环的一个端面与波纹膜片粘结，其另一端的外壁与光纤法兰盘的凹槽粘结；光纤插头与光纤法兰盘耦合，光纤插头位于玻璃圆环的内部，且光纤插头的端面与波纹膜片的表面形成法布里－珀罗腔。本发明的波纹膜片式法布里-珀罗压力传感器是对现有的压力传感器技术的提高和补充，能够满足科学研究和生产需求，有望解决传感器向微型化发展和批量生产时遇到的问题，适用于强电磁干扰、易燃易爆等恶劣环境，在石油化工和航空航天领域有广泛应用前景。

主权项

波纹膜片式法布里－珀罗型光纤压力传感器，包括波纹膜片、玻璃圆环、光纤法兰盘和光纤插头，其特征在于，所述玻璃圆环的一个端面与波纹膜片粘结，其另一端的外壁与光纤法兰盘的凹槽粘结；所述光纤插头与光纤法兰盘耦合，光纤插头位于玻璃圆环的内部，且光纤插头的端面与波纹膜片的表面形成法布里－珀罗腔。