工件形状测定系统及控制方法

摘要

本发明为工件形状测定系统及控制方法，课题是提高工件的形状检测精度。工件形状测定系统具备保持装置、检测装置和移动装置；该保持装置对板状的工件进行保持；该检测装置相对于被保持于保持装置的工件离开规定距离地设置，对该工件的形状进行检测；该移动装置为了使由检测装置进行的工件的检测范围沿保持装置的工件保持面进行移动，使检测装置及保持装置的至少一方移动；在该工件形状测定系统中，保持装置包含多个保持单元和使各个保持单元在对工件进行保持的保持位置与从工件离开的退避位置之间移动的移动机构；移动机构，与由移动装置进行的检测装置及保持装置的至少一方的移动相连动地，使位于工件的检测范围内的保持单元向退避位置移动。

主权项

一种工件形状测定系统，具备保持装置、检测装置和移动装置；该保持装置对板状的工件进行保持；该检测装置相对于被保持于上述保持装置的上述工件离开规定距离地设置，对该工件的形状进行检测；该移动装置为了使上述检测装置对上述工件的检测范围沿上述保持装置的工件保持面移动，而使上述检测装置与上述保持装置的至少一方移动；该工件形状测定系统的特征在于：上述保持装置包含多个保持单元，和使各个上述保持单元在对上述工件进行保持的保持位置与从上述工件离开的退避位置之间移动的移动机构；上述移动机构，与由上述移动装置进行的上述检测装置与上述保持装置的至少一方的移动相连动地，使位于上述工件的检测范围内的上述保持单元向上述退避位置移动。