| 摘要 |
본 발명은 표면 평활성에 악영향을 주지 않고, 그 소포성을 크게 개선할 수 있는 소포제, 소포제를 함유하는 계면활성제 조성물, 코팅 조성물 및 레지스트 조성물을 제공하는 것을 목적으로 해서, 1분자 중에 k개(여기에서, k는 2 이상임)의 (메타)아크릴로일기를 갖는 화합물(a1) 1몰에, 불소화알킬기와 활성 수소를 갖는 화합물(a2) 2∼k몰을 마이클 부가시켜서 얻어지는 것을 특징으로 하는 소포제, 당해 소포제와 불소계 계면활성제를 함유하는 계면활성제 조성물, 당해 소포제와 불소계 계면활성제를 함유하는 코팅 조성물, 당해 소포제와 불소계 계면활성제를 함유하는 레지스트 조성물을 제공한다. |
