发明名称 プラズマCVD装置
摘要
申请公布号 JP5823338(B2) 申请公布日期 2015.11.25
申请号 JP20120088992 申请日期 2012.04.10
申请人 小島プレス工業株式会社 发明人 藤井 崇之;渡邉 祐二
分类号 C23C16/50;C23C16/44;H05H1/24 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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