发明名称 ポリシリコンの製造方法
摘要 The present invention relates to a method for manufacturing polysilicon. According to the present invention, meltdown can be prevented during the growth of silicon rod, and a polycrystalline silicon rod having a larger diameter can be shortly manufactured with a minimal consumption of energy.
申请公布号 JP5823058(B2) 申请公布日期 2015.11.25
申请号 JP20140544647 申请日期 2012.09.26
申请人 ハンワ ケミカル コーポレイション 发明人 ヒュン−チョル・リュ;ジャ−スン・パク;ドン−ホ・イ;ウン−ジョン・キム;グイ−リョン・アン;スン−ウン・パク
分类号 C01B33/035 主分类号 C01B33/035
代理机构 代理人
主权项
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