一种提高磁控溅射靶材利用率的结构

摘要

本实用新型公开了一种提高磁控溅射靶材利用率的结构，包括伺服电机、丝杠、磁铁板、丝杠螺母、磁铁组和靶材，所述靶材的背面设置磁铁组，磁铁组固连在磁铁板上，从而构成磁控溅射靶材结构，所述磁铁板的背面固连丝杠螺母，丝杠螺母连接丝杠，丝杠的一端连接伺服电机。本实用主要是通过将磁铁板的宽度变窄，同时配有伺服电机与丝杠，通过伺服电机的正反转及适当的转速控制，使得磁铁板带着磁铁组在靶材宽度范围内，进行左右移动。通过周期性的左右运动叠加，最终达到最大的靶材刻蚀效果，通过测试，靶材利用率可提高1倍以上。

主权项

一种提高磁控溅射靶材利用率的结构，包括伺服电机、丝杠、磁铁板、丝杠螺母、磁铁组和靶材，所述靶材的背面设置磁铁组，磁铁组固连在磁铁板上，从而构成磁控溅射靶材结构，其特征在于，所述磁铁板的背面固连丝杠螺母，丝杠螺母连接丝杠，丝杠的一端连接伺服电机。