| 发明名称 |
基于化学气相沉积法制备样品的系统 |
| 摘要 |
本实用新型涉及一种基于化学气相沉积法制备样品的系统，主要包括管式炉(1)、调节控制室(7)、气体输入室(8)和尾气回收室(9)，其中管式炉(1)由衬底(2)、石英管(3)、陶瓷舟(4)、热电偶(5)和硅碳棒(6)构成，所述石英管(3)从衬底(2)中间穿设而过，热电偶(5)插设在衬底(2)上方，在石英管(3)两端各设置有一硅碳棒(5)，调节控制室(7)分别与两个硅碳棒(5)连接，气体输入室(8)和尾气回收室(9)分别连接石英管(3)的两端。本实用新型提供的基于化学气相沉积法制备样品的系统，具有操作简单、易于控制和实验周期短等特点。 |
| 申请公布号 |
CN204803403U |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
| 申请号 |
CN201520388465.9 |
申请日期 |
2015.06.03 |
| 申请人 |
陈小梅 |
发明人 |
陈小梅 |
| 分类号 |
C23C16/44(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;G01N1/28(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
一种基于化学气相沉积法制备样品的系统，其特征在于：所述基于化学气相沉积法制备样品的系统主要包括管式炉(1)、调节控制室(7)、气体输入室(8)和尾气回收室(9)，其中管式炉(1)由衬底(2)、石英管(3)、陶瓷舟(4)、热电偶(5)和硅碳棒(6)构成，所述石英管(3)从衬底(2)中间穿设而过，热电偶(5)插设在衬底(2)上方，在石英管(3)两端各设置有一硅碳棒(5)，调节控制室(7)分别与两个硅碳棒(5)连接，气体输入室(8)和尾气回收室(9)分别连接石英管(3)的两端。 |
| 地址 |
350206 福建省长乐市江田镇友爱村西坪下40号 |
