发明名称 LED封装中的陶瓷挡墙制造方法
摘要 本发明提供一种LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,该方法包括如下步骤:提供基板,在所述基板上贴附干膜光阻;对所述干膜光阻实施部分曝光形成挡墙图案;对干膜光阻进行光化学蚀刻,清除被曝光的部分,形成挡墙形状的凹槽;进行丝网印刷,在所述凹槽内填充陶土浆;对所述干膜光阻和陶土浆进行烘干,在陶土浆硬化后,剥离剩余的干膜光阻;对所述陶土浆进行高温烧结从而形成陶瓷挡墙。本发明提供的LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其尺寸小、节约压注模模具费、制造工艺简单,生产成本低廉、效率更高,并且结构稳定。
申请公布号 CN102769091B 申请公布日期 2015.11.25
申请号 CN201210166656.1 申请日期 2012.05.25
申请人 瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声精密制造科技(常州)有限公司 发明人 南佶模;金东明;李忠硕;金荣基;河宗秀
分类号 H01L33/48(2010.01)I 主分类号 H01L33/48(2010.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种LED封装中的陶瓷挡墙制造方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:(1)提供基板,在所述基板上贴附干膜光阻;(2)对所述干膜光阻实施部分曝光形成挡墙图案;(3)对干膜光阻进行光化学蚀刻,清除被曝光的部分,形成挡墙形状的凹槽;(4)进行丝网印刷,在所述凹槽内填充感光性陶土浆,所述陶土浆含有白色玻璃陶瓷、分散剂、聚合物、单体、光起始剂以及溶剂,其中白色玻璃陶瓷占60~80wt%,分散剂、聚合物、单体、光起始剂以及溶剂共占20~40wt%;(5)对所述干膜光阻和陶土浆进行烘干,在陶土浆硬化后,剥离剩余的干膜光阻;(6)对所述陶土浆进行高温烧结从而形成陶瓷挡墙。
地址 518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号