薄膜沉积设备、制造有机发光显示装置的方法及显示装置

摘要

本发明公开了一种薄膜沉积设备、一种制造有机发光显示装置的方法及一种显示装置。薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括：沉积源，包括沉积材料；沉积源喷嘴单元，布置在沉积源的一侧并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地布置并具有沿第一方向布置的多个图案化狭缝；阻挡板组件，包括沿第一方向布置的多个阻挡板，阻挡板组件布置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间。薄膜沉积设备和基底彼此分开并能相对彼此移动。沉积材料包括用来产生红光(R)发射层、绿光(G)发射层或蓝光(B)发射层或者辅助层的材料。

主权项

一种薄膜沉积设备，用于在基底上产生薄膜，所述薄膜沉积设备包括多个薄膜沉积组件，每个薄膜沉积组件包括：沉积源，包括沉积材料，所述沉积源排放所述沉积材料；沉积源喷嘴单元，布置在所述沉积源的一侧并包括多个沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与所述沉积源喷嘴单元相对地布置并具有沿垂直于所述第一方向的第二方向布置的多个图案化狭缝，其中，在基底和薄膜沉积设备中的一个沿所述第一方向相对于基底和薄膜沉积设备中的另一个移动的同时执行沉积，所述沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片被一体地布置为一体，所述沉积材料包括用来产生薄膜的材料，所述薄膜选自于由红光发射层、绿光发射层、蓝光发射层和多个辅助层组成的组中，其中，所述多个沉积源喷嘴的布置方向与基底和薄膜沉积设备相对移动的方向相同。