发明名称 | 一种抗蚀剂剥离液 | ||
摘要 | 本发明公开了一种抗蚀剂剥离液,涉及光学元件,用来快速有效地去除彩色滤光片上的彩色抗蚀剂以及保护层。所述彩色滤光片用彩色抗蚀剂剥离液,包括质量分数为10-45%的烷氧基碱金属盐,质量分数为10-30%的有机胺,质量分数为5-30%的表面活性剂,质量分数为20-60%的溶剂,质量分数为1-55%的醇。本发明用于去除彩色滤光片中不良品的彩色抗蚀剂及保护层。 | ||
申请公布号 | CN103019051B | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
申请号 | CN201210523929.3 | 申请日期 | 2012.12.07 |
申请人 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 舒适;刘陆;王灿;齐永莲;惠官宝 |
分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
主权项 | 一种抗蚀剂剥离液,其特征在于,包括质量分数为10‑45%的烷氧基碱金属盐,质量分数为10‑30%的有机胺,质量分数为5‑30%的表面活性剂,质量分数为20‑60%的溶剂,质量分数为1‑55%的包含C1‑C4的烷基的低级正醇或异醇;所述抗蚀剂剥离液在室温下、5分钟之内去除彩色滤光片上的彩色抗蚀剂和保护层。 | ||
地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |