清洗系统、清洗装置及使用清洗装置的方法

摘要

本发明提供一种清洗系统、清洗装置及使用清洗装置的方法，该清洗装置包括一上层部、一中层部以及一底层部。前述上层部具有一第一开口，前述中层部连接上层部，具有一入口、一环状通道以及一第二开口，其中入口位于中层部的一侧边，环状通道与入口相连通，且第二开口与第一开口相连通，前述底层部连接中层部，具有一贮液池以及一第三开口，其中第三开口与第二开口以及贮液池相连通。

主权项

一种清洗装置，包括：一上层部，具有一第一开口；一中层部，连接该上层部，具有一入口、一环状通道以及一第二开口，其中该入口设置于该中层部的一侧边，该环状通道与该入口相连通，且该第二开口与该第一开口相连通，溶剂由该入口进入环状通道；以及一底层部，连接该中层部，具有一贮液池以及一第三开口，其中该第三开口与该第二开口以及该贮液池相连通。