成像光学部件以及具有该类型成像光学部件的用于微光刻的投射曝光装置

摘要

成像光学部件(7)具有至少6个反射镜(M1至M8)，该六个反射镜将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)。该成像光学部件(7)的入瞳布置在该物场(4)前面的成像光束路径中。该反射镜(M7、M8)中的至少一个具有用于成像光(3)通过的通孔(19)。机械可达的光瞳位于该物场(4)与通孔(19)中的第一者之间的成像光束路径中的光瞳平面(17)中，在该机械可达的光瞳中布置有用于对成像光学部件(7)的光瞳进行中心遮拦的遮挡光阑(20)。在该物场(4)后的成像光束路径中直接在第二反射镜(M2)之后的第一成像部分光束(24)与在该物场(4)后的成像光束路径中直接在第四反射镜(M4)之后的第二成像部分光束(25)在交叉区域(26)中彼此相交。结果是一成像光学部件，在该成像光学部件中实现关于成像光的小成像误差的可处理组合、可管理的生产以及好的光通过率。

主权项

具有至少六个反射镜(M1至M8)的成像光学部件(7；28)，该成像光学部件将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(5)，其中，‑从物场(4)彼此相隔的点发出的主光线(16)具有相互发散的光束路线，‑该反射镜中的至少一个(M7、M8)具有用于成像光(3)通过的通孔(19)，‑在该物场(4)与该通孔(19)的第一者之间的成像光束路径中在光瞳平面(17)设置有光瞳，该成像光(3)通过该光瞳一次，以及在该光瞳中布置有用于对该成像光学部件(7；28)的出瞳进行中心遮拦的遮挡光阑(20)，其中所述通孔(19)的第一者是成像光沿成像光束路径首先经过的通孔，‑在该物场(4)后的成像光束路径中直接在第二反射镜(M2)之后的第一成像部分光束(24)与在该物场(4)后的成像光束路径中直接在第四反射镜(M4)之后的第二成像部分光束(25)在交叉区域(26)中彼此相交，其中所述第二反射镜是沿着成像光束路径成像光在其上被反射的第二个反射镜，所述第四反射镜是沿着成像光束路径成像光在其上被反射的第四个反射镜。