聚合物组合物和含有该组合物的光致抗蚀剂

摘要

一种聚合物包含下述物质的聚合产物：单体，包含酸可脱保护单体，碱可溶单体，含有内酯的单体和光致释酸单体；下述结构式的链转移剂：其中，Z为y价C_1-20有机基团，x为0或1，R^d为取代或未取代的C_1-20烷基，C_3-20环烷基，C_6-20芳基，或C_7-20芳烷基；和任选的，引发剂。

主权项

一种聚合物，其包含下述物质的聚合产物：单体，包括具有结构式(I)的酸可脱保护单体，具有结构式(II)的碱可溶单体，结构式(III)的含有内酯的单体和结构式(IV)的光致释酸单体：其中，每个R^a独立地为H，F，C_1‑10烷基，或C_1‑10氟烷基，R^b独立地为C_1‑20烷基，C_3‑20环烷基，C_6‑20芳基，或C_7‑20芳烷基，每个R^b各自独立或至少一个R^b与相邻的R^b相连形成环状结构，Q₁是含有酯或不含有酯的C_1‑20烷基，C_3‑20环烷基，C_6‑20芳基，或C_7‑20芳烷基，W为碱可反应基团，包括‑C(＝O)‑OH；‑C(CF₃)₂‑OH；‑NH‑SO₂‑Y¹；其中Y¹为F或C_1‑4的全氟烷基；芳族‑OH；或为含有乙烯基醚的前述任意基团的加合物的基团，a为1‑3的整数，L为单环，多环，或稠多环的C_4‑20含内酯的基团，Q₂是含有酯或不含有酯且氟化或未氟化的，为C_1‑20烷基，C_3‑20环烷基，C_6‑20芳基或C_7‑20芳烷基，A是含有酯或不含有酯且氟化或未氟化的，为C_1‑20烷基，C_3‑20环烷基，C_6‑20芳基或C_7‑20芳烷基，Z为阴离子部分，包括磺酸根，磺酰胺阴离子，或磺酰亚胺阴离子，G为结构式(V)：其中，X为S或I，每个R^c为卤化或非卤化的，且各自独立地为C_1‑30烷基；多环或单环C_3‑30环烷基；多环或单环C_4‑30芳基，其中当X为S时，一个R^c任选地与一个相邻的R^c通过单键相连，且z为2或3，其中当X为I时，z为2，或当X为S时，z为3；结构式(IX)的链转移剂；其中，在结构式(IX)中：Z为y价C_1‑20有机基团，x为0或1，R^d为取代或未取代的C_1‑20烷基，C_3‑20环烷基，C_6‑20芳基，或C_7‑20芳烷基，以及y是1‑3的整数；和任选的，引发剂。