| 发明名称 | 基板清洗装置及以基板清洗装置来执行的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种处理量比过去高且成本低而能够适当判定清洗部件的更换时期的基板清洗装置。基板清洗装置(1)具备：抵接于基板W而进行擦洗的清洗部件(2)；保持清洗部件(2)的保持部件(6)；产生将清洗部件(2)按压于基板W的力的气缸(8)；测定保持部件(6)(的支臂7)位置的变位传感器(9)；及基于保持部件(6)的位置判定清洗部件(2)的更换时期的控制装置(11)。保持部件(6)(的支臂7)的位置包含：清洗部件(2)抵接于基板W的清洗位置；及清洗部件(2)从基板W离开的非清洗位置。控制装置(11)根据连续擦洗多个基板W时的清洗位置的变化来判定清洗部件(2)的更换时期。 | ||
| 申请公布号 | CN105097615A | 申请公布日期 | 2015.11.25 |
| 申请号 | CN201510260527.2 | 申请日期 | 2015.05.20 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 本坊光朗;国泽淳次 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;刘煜 |
| 主权项 | 一种基板清洗装置，其特征在于，具备：清洗部件，该清洗部件抵接于基板来擦洗所述基板；保持单元，该保持单元保持所述清洗部件；按压单元，该按压单元设于所述保持单元上，产生将所述清洗部件按压于所述基板的力；位置测定单元，该位置测定单元设于所述保持单元上，测定所述保持单元的位置；及更换时期判定单元，该更换时期判定单元基于所述保持单元的位置来判定所述清洗部件的更换时期，其中所述保持单元的位置包含：所述清洗部件抵接于所述基板的清洗位置；及所述清洗部件从所述基板离开的非清洗位置，所述更换时期判定单元根据连续擦洗多个基板时的所述清洗位置的变化来判定所述清洗部件的更换时期。 | ||
| 地址 | 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号 | ||