发明名称 |
一种聚焦离子枪 |
摘要 |
本发明公开了一种离子枪结构用于离子减薄仪对固体材料进行减薄。它包括第一阴极,凹孔形阳极和第二阴极;第一阴极与凹孔形阳极之间的电压控制在0-2kV之间,凹孔形阳极与第二阴极之间的电压为0-6kV之间。第一阴极一端有一小孔供氩气进入到第一阴极与凹孔形阳极之间,在电场作用下氩气被离子化形成阳离子Ar<sup>+</sup>,并进入凹孔阳阳极与第二阴极之间。凹孔形阳极中心有一孔径为1mm~2mm的孔,一面由绝缘层覆盖,另一面为凹孔金属面,经过初步离子化的氩气离子进入凹孔形阳极区时,在凹孔形阳极与第二阴极间的高压电场作用下,Ar<sup>+</sup>被加速并形成基本平行的离子束,冲出离子枪而对样品进行减薄。本发明的离子枪的聚焦性能好,在对固体样品进行减薄时,样品的温度上升温度小。 |
申请公布号 |
CN105092358A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201510418275.1 |
申请日期 |
2015.07.16 |
申请人 |
肖建中;肖然 |
发明人 |
肖建中;肖然 |
分类号 |
G01N1/44(2006.01)I |
主分类号 |
G01N1/44(2006.01)I |
代理机构 |
武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 |
代理人 |
宋业斌 |
主权项 |
一种聚焦离子枪,其特征在于,包括第一阴极(1),凹孔形阳极(2)和第二阴极(3);所述第一阴极(1)与所述凹孔形阳极(2)之间的电压为0‑2kV,所述凹孔形阳极(2)与所述第二阴极(3)之间的电压为0‑6kV。 |
地址 |
430074 湖北省武汉市华中科技大学高层小区5栋1802 |