发明名称 |
一种剥离装置和显示基板生产线 |
摘要 |
本发明提供一种剥离装置和显示基板生产线。该剥离装置包括剥离腔室,剥离腔室内用于提供设定温度的剥离液;还包括液刀机构,液刀机构包括供液管道和液刀头,供液管道用于将清洗液供应至液刀头,液刀头用于输出清洗液,供液管道设置在剥离腔室内,剥离液能使供液管道内的清洗液达到设定温度。该剥离装置能使液刀头输出的清洗液达到设定温度,从而能有效地去除残留在显示基板上的剥离液和光刻胶,避免剥离液在显示基板上析出,进而避免剥离液结晶将液刀头的输出口堵塞;该剥离装置还能有效的利用剥离腔室内原有的热能,从而节约能耗。 |
申请公布号 |
CN105093594A |
申请公布日期 |
2015.11.25 |
申请号 |
CN201510601440.7 |
申请日期 |
2015.09.18 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
发明人 |
张帆;胡伟;陈先好;刘剑钊;王建伟;刘祖宏;吴代吾 |
分类号 |
G02F1/13(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/13(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
罗瑞芝;陈源 |
主权项 |
一种剥离装置,包括剥离腔室,所述剥离腔室内用于提供设定温度的剥离液;还包括液刀机构,所述液刀机构包括供液管道和液刀头,所述供液管道用于将清洗液供应至所述液刀头,所述液刀头用于输出清洗液,其特征在于,所述供液管道设置在所述剥离腔室内,所述剥离液能使所述供液管道内的清洗液达到设定温度。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |