一种传输装置及半导体加工设备

摘要

本发明涉及一种传输装置及半导体加工设备，本发明提供的传输装置包括用于传输晶片的机械手，该机械手包括本体，本体具有用于承载晶片的承载面，且在承载面上覆盖有绝缘层，并且在绝缘层内埋设有电极层，电极层包括采用导电材料制作的正电极和负电极。上述传输装置可以将晶片牢固地固定在机械手的承载面上，防止晶片与机械手之间产生相对滑动；还使晶片与机械手之间不产生摩擦，从而避免了颗粒的产生，不会对腔室造成污染。

主权项

一种传输装置，包括用于传输晶片的机械手，其特征在于，所述机械手包括本体，所述本体具有用于承载晶片的承载面，且在所述承载面上覆盖有绝缘层，并且在所述绝缘层内埋设有电极层，所述电极层包括采用导电材料制作的正电极和负电极。