主权项 |
一种真空溅射镀膜基片装夹装置的使用方法,所述的一种真空溅射镀膜基片装夹装置,,是由:双面基片(1)、双面下弹性卡(2)、双面上弹性卡(3)、横梁(4)、竖梁(5)、单面上弹性卡(6)、单面下弹性卡(7)、单面基片(8)构成;其特征在于:竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4),横梁(4)设置为十字型,十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁;中部横梁(4)上面对称设置两个双面下弹性卡(2)、上方横梁(4)下面对称设置两个双面上弹性卡(3),双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)的卡头对应设置,双面下弹性卡(2)与双面上弹性卡(3)之间设置双面基片(1);上方横梁(4)下面与中部横梁(4)上面设置一组双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2);上方横梁(4)的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡(6)、中部横梁(4)的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡(7),单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)的卡头对应设置,单面上弹性卡(6)与单面下弹性卡(7)之间设置单面基片(8);竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4),上下相邻两根横梁(4)之间对应基片的规格设置,两根横梁(4)之间设置双面基片(1);横梁(4)设置为十字型,十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁;同一侧的两根横梁(4)侧梁之间设置单面基片(8)。加工真空溅射镀膜对单面基片(8)镀膜时,先把单面基片(8)下边放入下横梁(4)的单面下弹性卡(7)的卡槽中,单面基片(8)下边由两个单面下弹性卡(7)对称支撑,再把上边横梁(4)的单面上弹性卡(6)的卡槽卡住单面基片(8)的上边,单面基片(8)上边由两个单面上弹性卡(6)对称辅助卡紧。 |