用于光学MEMS干涉仪中的反射镜定位的自校准

摘要

一种微机电系统(MEMS)干涉仪提供了可移动反射镜的反射镜定位的自校准。可移动反射镜被耦合至具有可变电容的MEMS致动器。MEMS干涉仪包括用于确定在可移动反射镜的两个或更多个已知位置处的MEMS致动器的电容的电容感测电路和用于使用在已知位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移的校准模块。

主权项

一种微机电系统(MEMS)设备，包括：可移动反射镜；MEMS致动器，被耦合至所述可移动反射镜以引起其位移，所述MEMS致动器具有可变的电容；存储器，保持有将所述MEMS致动器的电容映射至所述可移动反射镜的位置的表；电容感测电路，被耦合至所述MEMS致动器，用于感测所述MEMS致动器的当前电容；数字信号处理器，用于访问所述表以基于所述MEMS致动器的所述当前电容来确定所述可移动反射镜的当前位置；以及校准模块，用于确定所述MEMS致动器的在所述可移动反射镜的两个或更多个已知位置处的相应实际电容，以确定待施加至所述可移动反射镜的所述当前位置的校正量；其中所述数字信号处理器使用所述校正量进一步产生所述可移动反射镜的经过校正的当前位置。